● 為何挑選THK PRECISION的壓電滑台？
壓電滑台的特徵之一，就是可以獲得極高的速度響應性，而高響應性主要與滑台機構本身的共振頻率有很大的依存關係。THK PRECISION擁有THK集團累積的先進科學製造技術及豐富資源，除了高精度規格的標準品之外，如果您對於壓電滑台的「軸向」、「角度」、「控制方式」有不同的需求條件，也能依照您的規格進行客製化設計。
壓電滑台的特色：
● 高解析度
- 高規格保證「 1 奈米」極細微的移動解析度。
- 內置回授控制用的靜電容量式變位計，能達到高信賴性的反覆定位。
● 高速響應
- 以毫秒等級的速度，正確達成指令的定位動作。
- 可以高速類比指令信號進行同步追蹤動作，如Sin波或三角波的掃描動作也可以完整呈現。
● 高移動精度
- 移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐，無摩擦磨耗，長時間的反覆動作也不會造成移動精度的劣化。
- 由於不使用潤滑劑，因此不會產生灰塵，使用時也無需維護保養。