【精密定位與AOI對位技術實務】

台灣半導體產業年產值約新台幣1.8兆元；而2019年國內半導體產業設備採購需求5000億，其中前段製程設備比重佔70%，而向國內採購之設備僅佔15%，其中採購國內前段製程設備更僅有7%。2018年台灣工具機製造業產值達約9500億，平均毛利率15%；相對于半導體設備產業平均毛利率40-50%，前段製程高階機台毛利率甚至高于70%-80%，兩者差異甚大。

次微米(Sub micron)等級精度是設備共同世代所趨，其差異在於半導體製程特殊性及精密定位與製程對位需求; XY軸次微米級定位搭配Z軸奈米級短行程定位建構半導體製程技術基礎, 對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求建構半導體製程精度基礎。 課程從精密定位與AOI對位技術需求講起，定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係，到次微米級設備組裝技術與限制條件，藉由振動抑制功能、精度的提昇，達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

※因應COVID-19 疫情考量，本課程規劃為「線上同步數位學習」形式，讓學員能在所在地進行線上學習，防疫不停學，隨時隨地學習、增進專業能力！

陳 講師(設計實務專家)

【經歷】
半導體設備廠資深技術副理、工研院經理

【專長】
半導體設備設計、工具機設計、機器人設計

【著作與證照】

1. 半導體設備之精密對位技術

2. 多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術

3. 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

4. 鏡面微結構超精密加工設備技術

5. 智慧結構多軸次微米主動抑振模組技術 

上課時間：111年6月8日、6月9日(三、四)，09:30～16:30，兩天共12小時。

上課地點：Webex線上會議室。

報名方式：傳真或線上報名 http://college.itri.org.tw

課程聯絡人：(02)2370-1111 分機 609，yunan@itri.org.tw 黃小姐。

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1、線上同步數位學習於課程當天09:30～16:30現場同步，報名學員可即時數位聽講並提問。

2、本同步數位課程無補課機制。

3、請註明服務機關之完整抬頭，以利開立收據；未註明者，一律開立個人抬頭，恕不接受更換發票之要求。

4、若報名者不克參加者，可指派其他人參加，並於開課前一日通知。

5、如需取消報名，請於開課前三工作日以電子信箱或致電聯繫主辦單位確認申請退費事宜。逾期將郵寄講義，恕不退費。