技術供應

尺寸形貌檢測(關鍵字:表面形貌量測)
Surface Profile Measurement

發布日期:2018-03-14
  • 研發團隊: 張柏毅藍于瀅 李漢文
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 幾何尺寸量測
  • 應用領域:
  • 技術簡介: 本技術提供快速的形貌檢測工具,滿足在10μm解析度的工業檢測需求,可高速掃描獲得大面積物體高度,尤其運用在IC封裝或PV產業的物體表面輪廓檢測。
  • 技術規格:
    1. 1.量測視野:50 mm
    2. 2.量測空間解析度:16μm
    3. 3.量測縱向範圍:30-500μm
    4. 4.量測縱向解析度:3μm
    5. 5.量測速率:Max 1000mm/sec
  • 合作或技轉聯絡人: 張柏毅/ TEL 03-5732238/手機035732238/ poychang@itri.org.tw