技術供應

非接觸導電薄膜阻抗量測模組(關鍵字:渦電流)
Non-Contact ITO Film Resistance Measurement Module

發布日期:2018-03-14
  • 研發團隊: 張樂融許勝雄葉清銘
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 其他
  • 應用領域: FPD檢測
  • 技術簡介: 非接觸式阻抗量測模組利用電磁原理,藉由電磁場與材料之耦合關係,達成非接觸量測待測物阻抗特性,相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法,具有可避免樣品損傷,量測速度快,能在高速移動下量測待測物阻抗均勻性等優點,可應用於製程線上檢測,回饋製程參數調整。
  • 合作或技轉聯絡人: 涂鐘範/ TEL 03-5743880/手機035743380/ CFTu@itri.org.tw