親愛的讀者朋友們：
《量測資訊》最新一期（第216期）已經出刊了！這一期同樣收錄了許多高品質的學術文章和研究成果。
《量測資訊》為唯一深入探討計量標準與量測技術資訊、工業品保、認證、驗證動態，計量產業動向、市場情報、未來發展趨勢之專業期刊。適合計量標準與量測技術從業人員、計量儀器代理商與製造商、各工業界品保測量人員，認證、驗證從業人員及理工科系師生閱讀。
《量測資訊》第216期 篇名與摘要:
企業淨零-計量帶動半導體供應鏈-數位轉型與永續升級
在全球氣候變遷和環保意識日益提高的背景下，企業責任逐漸成為各界關注的焦點。特別是在高科技產業，如何在追求經濟效益的同時實現可持續發展，成為企業經營的一大挑戰。在2024年5月17日舉行的世界計量日「計量支持產業經濟永續發展」研討會中，日月光控股汪渡村行政長以「企業淨零：計量帶動半導體供應鏈數位轉型與永續升級」為題，深入探討了計量技術在企業實現淨零排放和數位轉型中的重要作用。
《氫能革命：推動可再生能源的未來》
在2024年5月17日舉行的世界計量日「計量支持產業經濟永續發展」研討會中，聯華林德氫氣動能苗華山（Christine Miao）總監以「氫能革命：推動可再生能源的未來」為題，發表了一篇引人注目的講題。此次研討會重點探討了氫能在未來能源轉型中的關鍵角色，並深入分析了其技術創新、應用前景及挑戰。本文將全面回顧苗總監的演講內容，並結合當前氫能產業的發展現狀，探討氫能革命對全球能源結構的深遠影響。
《次兆赫光電通訊元件之頻譜特性檢測技術》
下世代高速通訊相關元件開發過程中，需要合適的檢測技術。在高速矽光子光電轉換元件方面，說明目前利用電子式與光學式頻寬量測方式，預期可達到>200 Gb/s的量測頻寬。在通訊材料與電磁波空間分布量測方面，開發以兆赫時域頻譜分析系統搭配可量測穿透與不同反射角的架構，以0度入射角為例，接收反射角度從14度到 90度; 以 90度入射角為例，接收反射角度從-76度到 90度，解析度1度，可量測上述水平角在0.1 THz ~ 1 THz間之兆赫波強度。實際量測四氟乙烯、-Fe2O3等高頻材料的介電與磁導常數頻譜，以及十字型重複性金屬結構的繞射空間頻譜分布。
《大尺寸模組及金屬組件溫濕環境腐蝕試驗研究》
本研究聚焦於大尺寸太陽能模組及金屬組件，深入探討模組放大對可靠度的影響。選用M6、M10單晶太陽能模組和建築整合 (Building-integrated photovoltaic; BIPV)鋼板G12光電模組，關切太陽能光電模組設計材料的變革。同時考察太陽能系統的耐用性，尤其是金屬組件在台灣亞熱帶氣候的挑戰，透過四種金屬鎖扣件進行可靠度試驗，模擬金屬接觸可能的腐蝕現象。參考IEC 61730-2:2023及IEC 61215-2:2021標準，結合溫溼度可靠度試驗，包括低溫、乾熱和濕冷凍，提升對太陽能模組的要求，通過這些測試，評估大尺寸模組及金屬組件在極端環境下的可靠性，確保其能抵抗腐蝕和水氣膨脹所帶來的損害。
《機器學習應用於半導體先進製程三維多參數結構量測》
由於電晶體尺寸逐漸接近物理極限，因此近年來發展晶片立體堆疊設計，並採用矽通孔(TSV, through silicon via)核心製程技術成為延續摩爾定律的重要方法。本研究建立了多參數物理模型以進行量測光譜擬合，可用來分析矽通孔三維形貌參數，並已經由掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)切片影像驗證為非破壞性、高準確度的量測方法。但由於多參數擬合須多次迴圈逼近相對耗時，因此本研究結合機器學習方法，實驗結果顯示各參數的決定係數(Coefficient of determination ; R2)高達0.99，且量測分析時間≤ 10毫秒。本研究證實機器學習的導入大幅提升量測速度，未來可應用在先進封裝製程三維結構的多參數量測。
《反射式光譜干涉技術應用於先進半導體蝕刻製程結構均勻性量測》
由於電晶體關鍵尺寸的逐年縮小已面臨物理極限，因此全球積極朝向提高單位面積立體堆疊元件數量的設計方向發展，開發3D IC封裝製程成為延續摩爾定律(Moore’s Law)最重要的方法。隨著量產製造過程產能及良率要求增加，使得開發非破壞性、快速、可即時回饋、優化製程的量測方法至關重要。本研究研發反射式光譜干涉量測技術，可整合在晶圓製程做為線上即時量測工具。實驗證實應用在高深寬比蝕刻製程的矽通孔(TSV, Through Silicon Via)結構深度量測，具備單點量測及分析時間 0.5 s等優勢，並根據量測模組的即時回饋數據，給予製程端調整反應性離子蝕刻條件參數，可逐步有效地提升整片晶圓蝕刻深度均匀度 2.47 %。
《直流電度表型式認證技術規範研究》
世界各國政府都在制定行動計畫，來因應複雜且長期的二氧化碳減少排放挑戰。正因如此，使得電動車、電動車充電站、儲能系統和可再生能源系統等相關技術為近年全球熱門產業，其中，電動車充電樁內部使用之電度表為使用者繳納電費的依據，其準確度與否對確保公平交易扮演著非常重要的角色。本文針對直流電度表型式認證，列出一經產官學界討論後之型式認證技術規範草案之試驗項目，提供經濟部標準檢驗局於未來制定全國性直流電度表型式認證技術規範之依據，以確保計量的一致性和準確性。
《天然氣分析-線上熱值分析儀量測品保實務應用》
近年來國際政經情勢在極端氣候、後疫情時代與國際地緣政治衝突之下，環保、能源情勢有了劇烈變化，全球面臨能源轉型，我國自105年務實推動能源轉型，在「展綠、增氣、減煤、非核」之方向建構重點方案，藉以逐步落實能源轉型政策。根據110年能源白皮書顯示，液化天然氣占進口能源比例18 %，在買賣交易上金額龐大，因此，建立天然氣相關量測品保計量技術是非常重要的，可有助於提升其交易之公平性與準確度，避免交易上的糾紛。本文介紹天然氣成分及熱值分析，並分享量測品保於實務上之案例。
希望這些內容能夠給您帶來新的靈感和想法，並且進一步幫助您在相關領域的研究和工作。
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