荷商半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）近日宣布已經完成針對5奈米以上先進製程節點研發的第一代 HMI 多光束檢測（MBI）系統的整合測試。型號 HMI eScan1000 成功展示了多光束檢測操作，透過9條電子束檢測掃描，可檢測較多數量的晶圓。這與目前單個電子束檢查工具相比，eScan1000 因有9條電子束，將使作業速度提高多達600%。
新 MBI 系統包含一個電子光學系統，發射及控制多個檢測電子束，然後收集和處理反射後的電子束，並將電子束對電子束的干擾限制在2%以下，提供一致的成像品質。
它還有高速平台以提高系統的整體執行速度，並有高速運算架構即時處理多個電子束檢測後的資訊，且能檢測到微小的缺陷，同時解決以前電子束檢測的執行速度限制，使其更適合大量製造環境。
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