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差頻偏光儀在塑膠基板的主應力角和相位延遲量的量測研究
建立日期:2020/11/09
作者:
北科大自動化所/陳世勳、陳金聖;北科大光電系/林世聰、Quy Hoang Le
出處:
2020 AOI論壇與展覽
內容:
本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集,摘要如下:
本研究提出了一種基於差頻干涉和偏光儀理論的差頻偏光儀;它由一個 Zeeman 雷射、一個二分之一波板、兩個四分之一波板 、一個分析板、一個光電探測器以及 x y 位移平台所組成。它能夠測量被測樣品的全場主應力角和相位延遲量。
本文將介紹偏光儀的配置、量測原理和實驗裝置,展示進行測量四分之一波板和兩個 PEN 膜裝置的實驗,並介紹實驗結果。結果顯示測得的主應力角和相位延遲量誤差分別不超過 2.65 o 和 3.99 o ,其結果與所提出的偏光儀的有效性和可行性相吻合。
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