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設計工具+製程設備 光學微影效能淋漓盡致

建立日期:2018/02/21
  • 作者: 新電子科技
  • 出處: 2008-09-01 新電子科技
  • 內容: 針對光學微影製程,在效能提昇上搭配了適當的EDA工具與量測技術,本文詳盡剖析技術內幕,並介紹EDA工具與量測技術的搭配理論與實際情形,相關資訊請詳參考網址連結說明。