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知識分享

圖案化薄膜的多波長橢偏影像對比檢測

建立日期：2018/02/21
  • 作者： 謝富翔等
  • 出處： 明志科技大學、工研院量測中心
  • 內容： 隨著薄膜技術的廣泛應用與發展，膜質的種類及膜層的數目逐漸增加，傳統的白光、偏光與光譜式影像橢偏檢測技術，已逐漸無法滿足高影像對比的需求。主要是因為沒有嚴格考慮多波長的影響，所以無法對複雜的薄膜蝕刻圖案得到最佳影像對比。為解決此問題，我們利用瓊斯矩陣(Jones Matrix)與菲涅爾(Fresnel)方程建立一套數學模型，並由實驗驗證分析下，探討橢偏影像對比最佳化的變因。

    本文探討波長及入射光強對薄膜橢偏影像對比的影響。影像橢偏系統架構上使用起偏器-相位補償器-樣品-檢偏器的方法，調整起偏器的方位角與相位補償器的相位角，使特定區域消光，凸顯出消光區域與非消光區域的影像對比。本研究使用金屬鹵素燈結合單頻儀所產生多波長窄頻光為光源，藉著特徵波長、高光源強度，及橢偏消光效果，提升圖案化薄膜間的影像對比，實驗結果將與多波長影像方法作比較。
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