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偏振式駐波干涉儀應用於位移量

建立日期:2018/10/22
  • 作者: 中央大學/王佑薪、李朱育、洪嘉澤
  • 出處: 2018 AOI論壇與展覽論文集
  • 內容: 本文提出一套奈米級位移量測技術-「偏振式駐波干涉儀」。其原理為重疊向左及向右傳遞的光線而形成駐波,再利用散射板將駐波光強度散射出來。利用偏振干涉技術將散射出來的駐波轉換成相位正交的兩個訊號。透過反正切及解纏繞運算,即可獲得駐波的相位變化,進而獲得物件位移。實驗結果顯示,量測範圍能達到毫米等級,量測解析度約 1nm,量測靈敏度為 1.35˚/nm ,最大量測速度為 500μm/s 。本系統以單光束的構建而成,能有效節省架設設備所需空間,搭配自行開發的相位正交解相程式,取代目前昂貴的精密量測設備,在精密位移量測上,具有極大的潛力
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