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知識分享

PZT微致動結合影像處理應用於形貌量測

建立日期：2019/10/15
  • 作者： 交大機械所/吳柏勳、王彥中、鄭璧瑩；儀科中心/翁俊仁、呂國豪
  • 出處： 2019 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本文所使用之表面形貌量測方法屬於被動式量測，因此不會和待測物進行物理上的接觸，有效避免破壞待測物的風險，適合使用於脆弱待測物之檢測。透過調控PZT，可使我們更有效地獲得不同高度的影像，而結合Binning功能可以使取像速度進一步加快，使得建立表面形貌更加快速，也能更快的建立高景深影像。
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