知識分享

PZT微致動結合影像處理應用於形貌量測

建立日期:2019/10/15
  • 作者: 交大機械所/吳柏勳、王彥中、鄭璧瑩;儀科中心/翁俊仁、呂國豪
  • 出處: 2019 AOI論壇與展覽
  • 內容: 本文所使用之表面形貌量測方法屬於被動式量測,因此不會和待測物進行物理上的接觸,有效避免破壞待測物的風險,適合使用於脆弱待測物之檢測。透過調控PZT,可使我們更有效地獲得不同高度的影像,而結合Binning功能可以使取像速度進一步加快,使得建立表面形貌更加快速,也能更快的建立高景深影像。
  • 檔案下載:全文下載
  • 下載次數:33