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知識分享

高精度表面及內界面形貌量測儀

建立日期：2019/10/16
  • 作者： 中原大學物理系/許怡仁、林鈺凱
  • 出處： 2019 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本研究團隊於近年來發展並驗證分別用以量測表面形貌與元件內界面、且具備奈米準確度的低成本光學系統。該系統的基礎是由邁克爾遜干涉儀和馬赫-策德爾干涉儀所組成的複合式干涉儀。利用系統中的相位補償機制，來自光學系統的不穩定和環境干擾所造成的相位偏差可同時獲得補償。在無需特殊屏蔽和保護、以及樣品的特殊製備之下，該系統可進行毫米至厘米尺度的大範圍造影，以及奈米級軸向解析度的量測。此系統不但可同時作高解析度的材料表面反射率與相位分布的量測，更可以非破壞的對已封裝產品內部界面進行檢測。
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