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BEF表面形貌量測技術
BEF surface profile measurement technology
發布日期:2018-03-13
研發團隊:
戴鴻名
、
郭世炫
、
陳金亮
、
蘇彥禎
、
王偉誠
研發團隊負責人:
技術類別:
幾何尺寸量測
應用領域:
技術簡介:
量測中心已開發出增亮膜表面形貌精度量測技術,可量測之最大表面斜率可達 45˚。本技術係採用白光干涉儀作為檢測之主要工具,利用不同視角擷取影像,再以影像處理軟體還原三維形貌,可克服光學檢測的限制,量測大斜率表面形貌尺寸。
技術規格:
1.物鏡倍率:10X, 20X, 50X
2.橫向解析度:< 0.6 μm
3.縱向解析度:< 0.1 nm
4.縱向測量範圍:400 μm
5.量測最大表面斜率:45˚
優點:
1.針對BEF表面規律變化之微結構形貌量測開發。
2.可克服傳統光學檢測設備無法量測大斜率微結構表面之問題。
3.獨立型量測設備可量測各種具大斜率表面之樣品。
4.量測設備架構具彈性,可配合加工設備空間,整合於加工設備中。
合作或技轉聯絡人:
郭世炫/ TEL 03-5732242/手機0939225581/
kevinkuo@itri.org.tw
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