技術供應

BEF表面形貌量測技術
BEF surface profile measurement technology

發布日期:2018-03-13
  • 研發團隊: 戴鴻名郭世炫陳金亮蘇彥禎王偉誠
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 幾何尺寸量測
  • 應用領域:
  • 技術簡介: 量測中心已開發出增亮膜表面形貌精度量測技術,可量測之最大表面斜率可達 45˚。本技術係採用白光干涉儀作為檢測之主要工具,利用不同視角擷取影像,再以影像處理軟體還原三維形貌,可克服光學檢測的限制,量測大斜率表面形貌尺寸。
  • 技術規格:
    1. 1.物鏡倍率:10X, 20X, 50X
    2. 2.橫向解析度:< 0.6 μm
    3. 3.縱向解析度:< 0.1 nm
    4. 4.縱向測量範圍:400 μm
    5. 5.量測最大表面斜率:45˚
  • 優點:
    1. 1.針對BEF表面規律變化之微結構形貌量測開發。
    2. 2.可克服傳統光學檢測設備無法量測大斜率微結構表面之問題。
    3. 3.獨立型量測設備可量測各種具大斜率表面之樣品。
    4. 4.量測設備架構具彈性,可配合加工設備空間,整合於加工設備中。
  • 合作或技轉聯絡人: 郭世炫/ TEL 03-5732242/手機0939225581/ kevinkuo@itri.org.tw