技術供應

雙面微柱狀膜片的對位檢測方法與對位圖案分析
Method and Analysis for detecting rolling offset v

發布日期:2018-03-14
  • 研發團隊: 陳俊賢
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 光學特性量測
  • 應用領域:
  • 技術簡介: 【關鍵字】光學膜錯位、對位檢測、對位圖案、R2R線上檢測
    本技術主要為開發雙面微光學膜對位技術,技術基礎源於半導體疊對技術,光學膜屬於透明材質,只有在特別角度與結構才能有反射光資訊,以光學膜本身結構製作對位圖案,利用影像上圖案分析與移動機構實際尺寸建立資料表,獲得上下膜片結構錯位量資訊。
  • 技術規格:
    1. 1.檢測精度≦5μm
    2. 2.配搭膜片檢出裝置,檢測速度≦5m/min
    3. 3.光學膜錯位資料判讀範圍≦80μm(可依膜片對位圖案結構而定)
  • 優點:
    1. 1.配搭膜片檢出裝置,可應用於R2R線上檢測。
  • 合作或技轉聯絡人: 陳俊賢/ TEL 03-5743718/手機0972291857/ Jim.chen@itri.org.tw