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技術供應

雙面微柱狀膜片的對位檢測方法與對位圖案分析
Method and Analysis for detecting rolling offset v

發布日期：2018-03-14
  • 研發團隊： 陳俊賢
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 光學特性量測
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 【關鍵字】光學膜錯位、對位檢測、對位圖案、R2R線上檢測
    本技術主要為開發雙面微光學膜對位技術，技術基礎源於半導體疊對技術，光學膜屬於透明材質，只有在特別角度與結構才能有反射光資訊，以光學膜本身結構製作對位圖案，利用影像上圖案分析與移動機構實際尺寸建立資料表，獲得上下膜片結構錯位量資訊。
  • 技術規格：
    1. 1.檢測精度≦5μm
    2. 2.配搭膜片檢出裝置，檢測速度≦5m/min
    3. 3.光學膜錯位資料判讀範圍≦80μm（可依膜片對位圖案結構而定）
  • 優點：
    1. 1.配搭膜片檢出裝置，可應用於R2R線上檢測。
  • 合作或技轉聯絡人： 陳俊賢/ TEL 03-5743718/手機0972291857/ Jim.chen@itri.org.tw
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