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技術供應

白光掃描干涉表徵顯微技術
Scanning White-light interferometry

發布日期：2018-03-13
  • 研發團隊： 張中柱、童啟弘、鄒永桐、陳金亮、黃瓊輝、梁仁德、黃煥祺、張樂融、葉清銘
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 特殊光學設計、量測方法
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 白光掃描干涉表徵顯微技術為一項光學式表面形貌量測技術，具有非接觸/非破壞，區域取像/高速、表面形貌量測技術，奈米級縱向解析度、微米級橫向解析等多項無可替代的優點；對於物體的表面粗度、表面形貌、平面度、球面度，型態精度，微結構尺寸等重要參數，提供了很好的測量方法和工具，在高科技產業裡應用廣泛，包括半導體工業的晶圓，平面顯示器的玻璃與塑膠面板，以及超精細加工的機械元件等等。
  • 合作或技轉聯絡人： 徐錦麟/ TEL 03-5732255/手機035732296/ jihsu@itri.org.tw
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