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技術供應

廣波域多層膜自動化光學膜厚監控系統
Optical Monitor System

發布日期：2018-03-13
  • 研發團隊： 張永欣、潘漢昌、陳宏彬、邱柏凱、張峻銘、蕭健男
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 特殊光學設計、量測方法
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 本研究發展出可以協助國內鍍膜產業自動化升級的系統。由於光學薄膜少則二層，多則數十層，如果完全依賴人工鍍膜，則容易造成膜厚誤判，影響產能，造成企業損失。本研究則可彌補人工判斷的不足，採用廣波域監控的方式，監控多波長的穿透率變化，輔以「全光譜的符合程度」以及「光譜特徵的相對應波長」，降低傳統多層膜光學監控誤判率，提升產品良率。此外，具網路資料庫概念的設計也可協助廠商在製程資料的傳遞上更為便捷。
  • 技術規格：
    1. 1.光學薄膜高低介電膜之厚度控制，自動判斷停鍍點
    2. 2.依照全光譜之符合程度以及峰值谷值之相對應波長，輔助判斷停鍍點
    3. 3.迴圈時間0.3秒，提升靈敏度
    4. 4.監控波長為380nm
    5. 5.900nm
    6. 6.鍍膜過程之全光譜完全紀錄，有助於日後分析、訓練與教學之用
  • 優點：
    1. 1.自動化膜厚監控，提升產能
    2. 2.廣波域監控與同時多項參數之膜厚監控方式，可降低誤判率，提高良率
    3. 3.預先理論分析實際鍍膜過程的光譜變化
    4. 4.資料完全存放於資料庫，有效管理，並可以發佈於網路上
    5. 5.簡易的操作介面，降低操作員的學習門檻
  • 合作或技轉聯絡人： 張永欣/ TEL 03-5779911#228/手機035779911/ ben@itrc.org.tw
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