技術供應

非接觸式表面輪廓量測儀(關鍵字:白光干涉)
Non-contact 3D Surface Profiler

發布日期:2018-03-14
  • 研發團隊: 張奕威Mario 王浩偉
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 幾何尺寸量測
  • 應用領域:
  • 技術簡介: 白光掃瞄干涉表徵顯微技術為一項光學式表面形貌量測技術,工研院量測中心所開發之白光干涉表徵顯微儀,利用白光低同調特性,突破傳統相移干涉儀在階高量測上之限制,並合併相位計算之方法,同時達到速度與解析度之提升,具有非破壞、高速取像與奈米級縱向解析度等多項無可替代之優點;對於物體之微結構尺寸、表面粗糙度、平面度、球面度等重要參數,提供了良好之測量方法與工具。
  • 合作或技轉聯絡人: 張奕威/ TEL 03-5732242/手機035732242/ YiWeiChang@itri.org.tw