產經情報

奈米級精度!可客製化的高精度壓電滑台

日期:2024-11-13

▍壓電滑台的特色:
● 高解析度
- 高規格保證「 1 奈米」極細微的移動解析度。
- 內置回授控制用的靜電容量式變位計,能達到高信賴性的反覆定位。

● 高速響應
- 以毫秒等級的速度,正確達成指令的定位動作。
- 可以高速類比指令信號進行同步追蹤動作,如Sin波或三角波的掃描動作也可以完整呈現。

● 高移動精度
- 移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐,無摩擦磨耗,長時間的反覆動作也不會造成移動精度的劣化。
- 由於不使用潤滑劑,因此不會產生灰塵,使用時也無需維護保養。

▍可以客製化哪些項目?
THK PRECISION是日本國內超精密定位壓電滑台、超音波馬達滑台、壓電馬達滑台、應力感測器產品的第一品牌。
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