產經情報

精度從1nm到μm,壓電滑台、自動滑台皆可提案!

日期:2025-01-03

針對高科技產業所需的精密滑台,反覆定位精度從毫米、微米、小到奈米單位,我們都有產品可以提供給您,歡迎與廣億科技討論設計需求!

壓電滑台 應用案例

超精密定位壓電滑台可達1nm的超高解析度,具備毫秒級的響應,也可將規格客製化,達到您的需求。

應用例:
● 對物鏡調焦:
白光干涉顯微鏡、共軛焦顯微鏡、雷射加工、高速/高精度對焦
● 精密掃描:
顯微鏡試料檢測台、掃描式探針顯微鏡、精密圖形描繪機
● 光學設備:
干涉儀的鏡面微調、光纖的光軸調整、透光元件的耦合調整
● 超精密加工:
鑽石車刀精密進給、超精密模具加工、細微切削/研磨加工
● 超精密位置調整:
HHD測試機、微小測試片的拉伸/壓縮、高精密的面耦合作業

壓電滑台 產品特色

1. 超高解析度
- 高規格保證「 1 奈米」極細微的移動解析度。
- 內置回授控制用的靜電容量式位移計,能達到高信賴性的反覆定位。

2. 高速響應
-輸入信號與滑台實際動作,兩者相差僅在毫秒之間。
-即使給予複雜的移動指令,也可精準的根據指令移動(應用舉例:高階晶圓膜厚檢測機)。

3.性能永不劣化
- 移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐,無接觸,故也無磨耗。經長時間使用,也不會產生精度劣化的問題。
- 由於不使用潤滑劑,因此不會有揮發物,使用時也無需維護保養。

客製化服務

如果上述產品中,都找不到合適的壓電滑台,歡迎向廣億科技提出客製化需求,我們不僅銷售國內外頂尖品牌,更有專業的技術人員可以與您規劃設計方向.........<詳細內文請點擊下方參考網址>