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知識分享

觸控面板透明電極之高解析片電阻成像技術

建立日期：2020/11/09
  • 作者： 工研院量測中心/劉子安、溫照華
  • 出處： 2020 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集，摘要如下：

    觸控面板廠藉由透明微結構電極之片電阻影像，可改善製程條件並提高良率，本文利用針孔輔助式 THz 成像技術可看到大範圍的片電阻影像；並藉由近場探針式 THz 成像技術，使片電阻成像解析度達到 30 μm。另外提出一個搭配紫外光的高解析成像法，預期可用於快速之線上片電阻檢測。
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