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知識分享

利用白光干涉術量測透明多層膜結構之表面形貌

建立日期：2018/02/12
  • 作者： 鄒永桐等
  • 出處： 工研院量測中心 鄒永桐、童啟弘、黃煥祺
  • 內容： 本篇文章利用白光垂直掃瞄(Vertical Scanning Interferometry, VSI)的方式量測透明多層膜的表面形貌方法。由於白光VSI 量測透明多層膜表面形貌時，除了表面會產生干涉訊號，透明多層膜的介面亦會有干涉訊號產生，形成多重波包的現象。此時，利用白光VSI 量測的方式可能因為多重波包，產生量測的錯誤。本文以訂定門檻值的方式，分辨透明多層膜表面的干涉訊號，避免底層的干涉訊號的干擾，而產生量測錯誤。由實驗上也證明，此方法確實能正確量測透明多層膜的表面形貌。

    【論文全文請詳附加檔案說明】
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