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液晶相位延遲量測方法評估

建立日期:2018/02/12
  • 作者: 陳怡菁等
  • 出處: 工研院量測中心 陳怡菁、陳彥良、徐祥瀚、藍玉屏
  • 內容: 相位延遲(phase retardation)是計算液晶層厚度(cell gap)的重要參數。本研究係利用常見的旋轉偏振量測法和共光程外差干涉術,量測具有雙折射性質的扭轉向列型液晶層和四分之ㄧ波片產生的相位延遲量,針對此兩種完全不同的量測方法進行分析評估並比較量測結果。結果顯示,無論是液晶層或是波片兩種方法得到的量測值差異不大分別為3.37 nm 和2.07 nm。旋轉偏振量測法針對液晶層和波片的量測重覆性分別為0.03 nm 和0.02 nm,重現性為0.15 nm 和0.44 nm;共光程外差干涉術針對液晶層和波片量測的重覆性為2.37 nm 和0.8 nm,重現性為2.61 nm 和1.59 nm。二者對於波片的量測平均值分別為157.99 nm 和160.06 nm 與理論值相近,皆落在誤差範圍內。此外,本研究並分析雙折射率偏差量對液晶層厚度計算的影響,實驗證明雙折射率偏差量的變化率和液晶層厚度d 的變化率成線性關係,對於雙折射率差值為0.0868 液晶層厚度為4.34 μm 的液晶,雙折射率差值每增加0.12 %則量測到的液晶層厚度將減少0.11 %。

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