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知識分享

應用雙向反射分佈函數量測技術的多方位光學散射光量測系統之研發

建立日期：2018/02/12
  • 作者： 劉承揚等
  • 出處： 工研院量測中心 劉承揚、劉子安、傅尉恩
  • 內容： 奈米微粒分布及粒徑量測是半導體製程中相當重要的量測參數，其基本要求即是晶圓表面奈米微粒之尺寸大小、數量及分布。針對此需求，本文提出一奈米級的多方位偏振散射光量測系統，我們將此量測系統分成三個部分，包括偏振光源裝置、待測物運動機構和光接收裝置等，將這三個部分整合即可成為奈米級的散射光微粒量測系統，可量測的微粒直徑範圍為100 nm～1 μm，並可承載4～8吋的晶圓進行量測。

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