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知識分享

以光路對稱式雷射三角位移計量測直角表面輪廓

建立日期：2020/11/09
  • 作者： 逢甲大學光電系/簡明毅、陳建文、盧聖華；工研院量測中心/黃茆生
  • 出處： 2020 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集，摘要如下：

    雷射三角位移計有結構簡單穩定、速度快、動態範圍大與微米級準確度等優點，廣泛應用於汽車、半導體、電子…等產業。當以雷射三角位移計量測有直角面(或 L 面)的工件之輪廓時，表面的散射光常被 L 面擋住，無法到達光感測器。將直角面工件旋轉 45°，再以雷射三角位移計量測輪廓，又會發生多面反射，導致光感測器上有兩個散射像點，無法分辨第⼀次散射像點的真實位置。

    本文提出以對稱式成像光路識別第⼀成像光點之真實位置，另以同為 45° 線偏振片之起偏器與檢偏器，壓抑多重反射引起的第二成像光點之光強度。本研究以自製及商用雷射位移計同時量測有階梯狀輪廓的柱狀工件，實驗結果證實本文提出的對稱式雷射三角位移計能成功量測階梯狀輪廓，而且沒有商用雷射位移計的多重反射干擾問題。
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