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知識分享

差頻偏光儀在塑膠基板的主應力角和相位延遲量的量測研究

建立日期：2020/11/09
  • 作者： 北科大自動化所/陳世勳、陳金聖；北科大光電系/林世聰、Quy Hoang Le
  • 出處： 2020 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集，摘要如下：

    本研究提出了一種基於差頻干涉和偏光儀理論的差頻偏光儀；它由一個 Zeeman 雷射、一個二分之一波板、兩個四分之一波板 、一個分析板、一個光電探測器以及 x y 位移平台所組成。它能夠測量被測樣品的全場主應力角和相位延遲量。

    本文將介紹偏光儀的配置、量測原理和實驗裝置，展示進行測量四分之一波板和兩個 PEN 膜裝置的實驗，並介紹實驗結果。結果顯示測得的主應力角和相位延遲量誤差分別不超過 2.65 o 和 3.99 o ，其結果與所提出的偏光儀的有效性和可行性相吻合。
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