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白光掃描干涉表徵顯微技術
Scanning White-light interferometry
發布日期:2018-03-13
研發團隊:
張中柱
、
童啟弘
、
鄒永桐
、
陳金亮
、
黃瓊輝
、
梁仁德
、
黃煥祺
、
張樂融
、
葉清銘
研發團隊負責人:
技術類別:
特殊光學設計、量測方法
應用領域:
技術簡介:
白光掃描干涉表徵顯微技術為一項光學式表面形貌量測技術,具有非接觸/非破壞,區域取像/高速、表面形貌量測技術,奈米級縱向解析度、微米級橫向解析等多項無可替代的優點;對於物體的表面粗度、表面形貌、平面度、球面度,型態精度,微結構尺寸等重要參數,提供了很好的測量方法和工具,在高科技產業裡應用廣泛,包括半導體工業的晶圓,平面顯示器的玻璃與塑膠面板,以及超精細加工的機械元件等等。
合作或技轉聯絡人:
徐錦麟/ TEL 03-5732255/手機035732296/
jihsu@itri.org.tw
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