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技術供應

尺寸形貌檢測(關鍵字：表面形貌量測)
Surface Profile Measurement

發布日期：2018-03-14
  • 研發團隊： 張柏毅、藍于瀅 、李漢文
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 幾何尺寸量測
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 本技術提供快速的形貌檢測工具，滿足在10μm解析度的工業檢測需求，可高速掃描獲得大面積物體高度，尤其運用在IC封裝或PV產業的物體表面輪廓檢測。
  • 技術規格：
    1. 1.量測視野：50 mm
    2. 2.量測空間解析度：16μm
    3. 3.量測縱向範圍：30-500μm
    4. 4.量測縱向解析度：3μm
    5. 5.量測速率：Max 1000mm/sec
  • 合作或技轉聯絡人： 張柏毅/ TEL 03-5732238/手機035732238/ poychang@itri.org.tw
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