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技術供應

非接觸式表面輪廓量測儀(關鍵字：白光干涉)
Non-contact 3D Surface Profiler

發布日期：2018-03-14
  • 研發團隊： 張奕威、Mario 、王浩偉
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 幾何尺寸量測
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 白光掃瞄干涉表徵顯微技術為一項光學式表面形貌量測技術，工研院量測中心所開發之白光干涉表徵顯微儀，利用白光低同調特性，突破傳統相移干涉儀在階高量測上之限制，並合併相位計算之方法，同時達到速度與解析度之提升，具有非破壞、高速取像與奈米級縱向解析度等多項無可替代之優點；對於物體之微結構尺寸、表面粗糙度、平面度、球面度等重要參數，提供了良好之測量方法與工具。
  • 合作或技轉聯絡人： 張奕威/ TEL 03-5732242/手機035732242/ YiWeiChang@itri.org.tw
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