top

技術供應

電性影像檢測技術(關鍵字：電性影像、缺陷檢測)
The inspection technique of electrical image

發布日期：2018-03-14
  • 研發團隊： 鄒永桐、詹志祥 、劉定坤
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 視覺影像處理
  • 應用領域：
  • 技術簡介： 傳統的電性檢測設備多是利用探針接觸待測物並施予電壓，量測待測物的電性，檢驗其是否正常工作，隨著製程的線寬越來越小，製作的面積越來越大，還有檢測的速度要求越來越快下，利用接觸的方式量測電性越來越不符合實際需求。本文介紹一種快速檢測電性的方式，使用液晶型電光調制器作為電測量測的感應器，並於待測物加上偏壓，利用電光調制器感應待測物發出的電場，配合光學機構打光照射，就可以擷取電光調制器感應電場產生的電壓影像，達到快速全檢的需求，並提供更加精密快速正確的量測品質。
  • 合作或技轉聯絡人： 劉定坤/ TEL 03-5743827/手機035743827/ teicon@itri.org.tw
回上頁