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知識分享

半導體氣體微粒及其成分檢測技術

建立日期：2022/10/05
  • 作者： 工研院量測中心/劉定坤 工程師
  • 出處： 2022 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2022 AOI論壇與展覽」演講簡報，內容簡介如下：

    於半導體製程中所產生之汙染，會對產品的良率有很大的影響；而在製程後排放出之汙染，亦對環境有很大的影響。隨著半導體製程的精進，且須符合節能減碳的議題；本中心針對半導體氣體微粒及其成分檢測，開發線上監控之技術，包括微米粒子檢測模組Remote particle counter，奈米粒子檢測技術 GED-DMA-CPC，以及微汙染監控技術 Soft X-ray AMC monitor，以因應當前之需求。
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