top

知識分享

偏振式駐波干涉儀應用於位移量

建立日期：2018/10/22
  • 作者： 中央大學/王佑薪、李朱育、洪嘉澤
  • 出處： 2018 AOI論壇與展覽論文集
  • 內容： 本文提出一套奈米級位移量測技術-「偏振式駐波干涉儀」。其原理為重疊向左及向右傳遞的光線而形成駐波，再利用散射板將駐波光強度散射出來。利用偏振干涉技術將散射出來的駐波轉換成相位正交的兩個訊號。透過反正切及解纏繞運算，即可獲得駐波的相位變化，進而獲得物件位移。實驗結果顯示，量測範圍能達到毫米等級，量測解析度約 1nm，量測靈敏度為 1.35˚/nm ，最大量測速度為 500μm/s 。本系統以單光束的構建而成，能有效節省架設設備所需空間，搭配自行開發的相位正交解相程式，取代目前昂貴的精密量測設備，在精密位移量測上，具有極大的潛力
  • 檔案下載：全文下載
  • 下載次數：37
回上頁