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知識分享

類共軛焦顯微鏡應用於矽晶圓內部檢查之穿透量測系統

建立日期：2019/10/31
  • 作者： 臺映科學(股)公司/湯裕民
  • 出處： 2019 AOI論壇與展覽
  • 內容： 利用將光源匯聚到單點，然後透過掃描製程完整影像的技術，實現可完全穿透矽晶圓，且可選擇性掃描的裝置。透過實驗，本裝置可完全穿透矽晶圓，掃描電晶體的內部結構，還有穿透封裝後的電子電路。本裝置可檢測出產品內在的缺陷，同時檢查出缺陷的位置，可應用半導體、平面顯示器的內部即時檢測。
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