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知識分享

智慧型透明基板瑕疵檢測

建立日期：2020/11/16
  • 作者： 臺師大光電所/鄭超仁、高揚傑、黃崇軒、何思嘉；文化大學電機系/杜翰艷
  • 出處： 2020 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集，摘要如下：

    為了保證產品質量，檢測與分類不良產品的瑕疵已成為在現代工業製造技術中不可或缺的必要技術，而為了能達到自動化且有效地檢測，為此，本團隊提出了一種新穎的複合瑕疵檢測（CDI）系統，該系統透過數位全像的三維（3D）繞射特性來分析透明基板的品質與瑕疵特性。

    在 CDI 系統中，為了在 z 軸方向上對目標瑕疵進行有效的數值重建分析，提出了兩種繞射標準：最小的混淆分離距離及有效繞射距離；基於這兩種繞射標準來提供區域檢測的方案，並分析目標瑕疵的三維繞射特徵以檢測透明基板中的瑕疵影像。

    另外，基於深度學習的分類器用於將檢測到的瑕疵種類分成刮痕、灰塵與水痕。實驗結果表明，我們所提出的 CDI 系統的檢測準確度達到 98 %、總分類精度達到 99 ％，在接收者操作特徵曲線（Az）下的辨別區域為 0.99。
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