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技術供應

掃描探針顯微量測設備技術
Scanning Probe Microscope

發布日期：2018-03-13
  • 研發團隊： 戴鴻名、陳建文、徐昌駿、黃瓊輝、鄭世賢、梁仁德、劉安順、張樂融、葉清銘、宋昌海、邱建齊
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 特殊光學設計、量測方法
  • 應用領域：
  • 技術簡介： ITRI SPM是一結合光學顯微鏡與SPM功能之奈米結構檢測儀器，內建三軸奈米掃描器與探針感測器，不需要雷射光路調整程序，兼顧體積小、高解析度、易學易用等優點。除了標準Contact mode、tapping mode、MFM mode、EFM mode、Phase mode、STM mode外，尚有WebScan mode、Liquid phase mode。
  • 合作或技轉聯絡人： 戴鴻名/ TEL 03-5732295/手機035732295/ hmtai@itri.org.tw
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