技術供應

電性影像檢測技術(關鍵字:電性影像、缺陷檢測)
The inspection technique of electrical image

發布日期:2018-03-14
  • 研發團隊: 鄒永桐詹志祥 劉定坤
  • 研發團隊負責人:
  • 技術類別: 視覺影像處理
  • 應用領域:
  • 技術簡介: 傳統的電性檢測設備多是利用探針接觸待測物並施予電壓,量測待測物的電性,檢驗其是否正常工作,隨著製程的線寬越來越小,製作的面積越來越大,還有檢測的速度要求越來越快下,利用接觸的方式量測電性越來越不符合實際需求。本文介紹一種快速檢測電性的方式,使用液晶型電光調制器作為電測量測的感應器,並於待測物加上偏壓,利用電光調制器感應待測物發出的電場,配合光學機構打光照射,就可以擷取電光調制器感應電場產生的電壓影像,達到快速全檢的需求,並提供更加精密快速正確的量測品質。
  • 合作或技轉聯絡人: 劉定坤/ TEL 03-5743827/手機035743827/ teicon@itri.org.tw