▌如何實現長期的穩定環境? 解決「微振動」是關鍵！
隨著光學檢測設備解析度的不斷提升，雖然能達成奈米級的檢測精度，但也使得設備對外部環境的干擾更加敏感。其中「微振動」的影響已成為 AOI 設備需要優先解決的問題。

▌如何改善微振動影響？
要建構長期且穩定的工作環境，除了周遭的環境本就必須進行該有的防護外，還需要藉由『除振產品』讓設備工作平台的 VC-curve 等級提高。

▌整合壓電滑台! 檢測精度再提升
當 VC-curve 等級提高並為設備提供穩定的工作環境後，便可進一步提升檢測精度。THK PRECISION的壓電滑台，具備「1 奈米」移動解析度、高速響應且無須保養。可廣泛應用於雷射光穿透元件、高精度圖形描繪設備、晶圓chuck移動、膜厚檢測等高精度場景，滿足 AOI 使用者對精密定位與高效的需求。

▌主動式除振台 × 壓電滑台：維持穩定與高精度的解決提案
主動式除振台從０Hz開始就能提供振動的處理，構建穩定的檢測環境；壓電滑台則以高解析度和高速響應，實現奈米級定位動作。兩者的整合不僅能提升光學檢測設備的可靠性，更可確保在奈米領域中穩定進行高精度檢測。

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