隨著半導體技術持續向先進製程、先進封裝領域發展，業主對於「精度」的要求也越來越高。
要建構進入奈米級作業的環境，除了控管周遭環境外，還需要透過『除振產品』讓設備工作平台達到所需的 VC 等級。「主動式除振台」能提供近乎從０Hz開始的振動處理，不僅是最有效的解決方案，更是進入奈米領域的必要條件。

外在環境因素解決後，奈米級的移載定位該怎麼挑選？
THK PRECISION是日本國內超精密定位壓電滑台、壓電馬達滑台、應力感測器產品的第一品牌。
其壓電滑台具有以下優勢：
1. 高解析度：高規格保證「 1 nm」極細微的移動解析度。
2. 高速響應：輸入信號與滑台實際動作，兩者相差僅在毫秒之間。
3. 無需維護保養：移動的台面由彈性鉸鏈機構支撐，無接觸、無磨耗。長時間使用也不會產生精度劣化的問題。

且根據不同的應用需求和精度要求，除了基本的六軸方向外，THK PRECISION還發展出多種形式產品的壓電滑台，例如：可用於反射鏡、繞射光柵製程、光罩/晶圓檢測、光學掃描、實現奈米/微米等級超精密加工。此外，也能與我們討論客製化訂製需求，在保證超高精度的要求下，可對應「使用環境、外型尺寸、行程、精度、載重」等條件進行調整，也可針對材質進行客製化( 包含：鋁合金、鋼鐵、不鏽鋼、鈦合金、Invar )。

若想了解更多微振動處理技術、客製化壓電滑台，歡迎聯繫廣億科技，為您提供完善的整合提案服務。