隨半導體技術持續向先進製程、先進封裝領域發展，業主對於「精度」的要求也越來越高。而壓電滑台（Piezo Stage）是能助您踏入奈米級領域的關鍵零組件。

什麼情況下會需要用到壓電滑台?

針對超高精度要求，以及對機械結構造成精度誤差極度敏感的應用場景，例如：半導體先進製程的晶圓chuck移動、晶圓封裝、膜厚檢測…等，皆需奈米級的移載定位，而我們可利用「壓電滑台」來達成需求。

然而，儘管是選用具備1奈米定位精度的零組件，但設備表現卻無法進到7奈米以下的先進製程領域。此種現象往往與「外在環境因素」密切相關。

是什麼因素會影響壓電滑台的精度？

「結構剛性不足、震動干擾、溫度變化、風場氣流、異材質結合、組裝誤差，或控制系統調教未最佳化」…等綜合原因，皆會影響壓電滑台精度。
其中「震動」對奈米領域的影響尤為關鍵，即使是幾乎無法察覺的微小震動，都會影響壓電滑台的表現。

如何改善震動影響？

藉由『除震產品』讓設備工作平台的 VC-curve 等級（環境微震動等級）提高。「主動式除震台」能提供近乎從０Hz開始的震動處理，不僅是最有效的解決方案，更是進入奈米領域的必要條件。
若想了解更多微震動處理技術，歡迎聯繫廣億科技，我們將根據需求，為您無償舉辦「技術研討會」，幫助您在機台設計階段時，能輕鬆應對震動挑戰。

THK PRECISION 客製化服務

如果您有特殊規格的壓電滑台需求，請務必向我們提出客製化！
在保證超高精度的要求下，可對應「使用環境、外型尺寸、行程、精度、載重」等條件進行調整，也可針對材質( 包含：鋁合金、鋼鐵、不鏽鋼、鈦合金、Invar )進行客製化.........<詳細內文請點擊下方參考網址>