產經情報

Micro LED巨量測試技術挑戰

日期:2019-07-26

致力於生產Micro LED顯示器的廠商來說,為了提升並確保Micro LED顯示器的良率,檢測與修復是製程中不可或缺的關鍵步驟,尤其檢測並修復巨量而細小的Micro LED晶片,依然是一項艱鉅挑戰。
LED測試包括光致發光測試(Photoluminescence; PL)及電致發光測試(Electroluminescence; EL),前者能在不接觸且不損壞LED晶片的情況下,對LED晶片進行測試,但檢測效果跟EL測試相比略為遜色,無法確實發現所有瑕疵,可能降低後續的生產良率。相反的,EL測試透過通電LED晶片來進行測試,能夠找出更多缺陷,卻可能因接觸而造成晶片損傷。而Micro LED由於晶片體積過小,而難以適用傳統測試設備,以EL檢測的難度相當高,但PL測試又可能出現遺漏,造成檢測效率不佳。
LEDinside 研究協理儲于超指出,Micro LED 顯示器生產成本大部分源自於修復與巨量轉移,甚至表示如果要達成更高良率,關鍵仍在於整個製程的提升,無論從磊晶矽晶圓片到巨量轉移。