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無效量測資料的理想形貌模擬
建立日期:2018/02/21
作者:
蘇彥禎等
出處:
工研院量測中心 蘇彥禎、張樂融
內容:
光干涉技術因為具有快速、精細度高、以及非破壞性檢測等優點,而普遍地被應用於微小結構物的量測中,但是對於傾斜度過高的表面形貌,則會因為反射光的角度過大,無法被感應設備正確地偵測到,而發生量測資訊不足的現象。
有鑑於一般性的方法所遭遇到的困難,我們提出一套演算法,能在光學量測後,根據有限的已知資料,重建出光學限制下,高傾斜度形貌所遺失的資訊,並且能兼顧:重建的精確度、執行的速度、不易受雜訊干擾的穩定度、以及表面形貌的普遍性等要素。
論文全文請詳附加檔案連結說明。
檔案下載:
無效量測資料的理想形貌模擬
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