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知識分享

光學尺製作及量測驗證

建立日期：2018/03/09
  • 作者： 董書屏、簡麗珍、陳建文、戴鴻名
  • 出處： 2015 AOI論壇與展覽
  • 內容： 光學尺是精密產業設備中極重要的關鍵組件。光學尺的組成包含計量尺及光學讀頭，藉由光學尺尺面上的刻劃的編碼圖案，判斷讀頭的位置。光學讀頭與高精度之光柵編碼圖案相對運動，能夠產生連續變化之光強變化，透過光感測器轉換為訊號，輸出至後端的解相位控制器，計算出兩者相對位置。故此，計量尺為光學尺移動定位之參考基準。計量尺圖案與長度決定光學尺精度，為影響系統整體性能最重要因素。

    本文主要介紹現階段光學尺技術成果，以電子束微影技術進行光柵圖案加工，加工精度均受嚴格控制。目前與雷射繞射光學編碼讀頭(Laser Diffraction Encoder) 配搭，並藉由光學尺驗證系統所得之構想，實現高精度光學尺製程開發。實驗結果顯示，位移150mm範圍，量測誤差控制在+/- 2.5μm範圍內。
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