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Calibration of 3-D Surface Profilometry Using Digital Fringe Projection

建立日期:2018/02/21
  • 作者: 陳亮嘉等
  • 出處: 台北科技大學自動化所 陳亮嘉、Chu-Chin Liao
  • 內容: 本技術以數位條紋投影與相位移(Phase shift)量測方法,發展三維輪廓精密量測之校正技術,由於相位計算是以CCD相機擷取待測上條紋光強度,但條紋光之強度分佈及其精確位置受到CCD投影鏡組之扭曲及像差問題,使受測物體深度與計算之相位差呈現非線性關係,易使三維量測結果產生誤差。因此本研究發展一種數位投影之校正技術,利用空間上的已知的座標點經由CCD相機取像後,求出系統校正參數,還原真實無扭曲的影像並計算精確相位差,再透過座標轉換演算法,決定影像座標與相位差相對於空間座標的映對關係,以獲得高精度、快速之微米級三維輪廓量測。經由本方法之系統校正,在一個19.5 x 14 x 10 mm3之量測範圍內,可獲得三維量測重覆度之誤差範圍在25μm以內,較無校正之誤差改善約2.1倍以上。

    本文章已在Measurement science and Technology 16(8) 1554-1566, 2005發表,版權屬於MST,全文請詳附加檔案連結說明。
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