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知識分享

薄膜蝕刻圖案的多波長橢偏影像對比研究

建立日期：2018/02/21
  • 作者： 王浩偉等
  • 出處： 明志科技大學 王浩偉；工研院量測中心 謝易辰
  • 內容： 薄膜光學檢測是薄膜製程中不可或缺的工具，隨著薄膜應用的廣泛，膜質種類及膜層數目逐漸增加，傳統薄膜影像對比檢測方法如白光影像檢測、偏光影像檢測、單波長及光譜式的影像橢偏檢測技術常無法提供足夠影像對比。本文針對此，提出多波長影像橢偏方法來解決此問題。我們以Fresnel方程及Jones Matrix薄膜偏光數學模型數值模擬，配合雙旋轉元件的多波長橢偏影像實驗，初步驗證薄膜橢偏對比可由特徵波長的選擇來加強，影像對比可較既有的光譜式影像橢偏方法更加明顯。既有方法因使用濾光片，過濾後的光譜帶寬仍很大，造成只有波長中心點的光滿足消光條件，偏離中心波長的光都會造成漏光，使得消光不完全，降低了與非消光區域的對比，而本實驗使用多波長可調雷射，已克服此缺點。且既有方法將調變元件分散在打光及影像擷取兩部份，系統架設複雜，而本實驗以調整偏振器方位角及相位補償器相位角的新方法，把調變元件集中在打光部分，可使系統更模組化。此方法可對薄膜蝕刻圖案缺陷，進行高影像對比之辨識檢測。

    論文全文請詳附加檔案連結說明。
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