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知識分享

多通道顯微膜厚量測技術

建立日期：2018/02/21
  • 作者： 吳智誠等
  • 出處： 工研院量測中心 吳智誠、楊富翔、張玉姍、林友崧、羅偕益、陳心怡
  • 內容： 薄膜厚度量測技術已發展多年且應用甚廣，於許多產業之品管中皆扮演極重要角色。尤其在近年來量測樣品面積變大、製程速度加快的趨勢下，快速且精準的量測變得越來越重要。而在現有的薄膜厚度量測技術中，多使用單點量測方法，要量測整個樣品的膜厚均勻性時，必須二維移動探頭或樣品，量測時間太久；再者，隨著製程技術的不斷發展，小區域之膜厚(如Pixel size)量測、監控也日趨重要；因此，能發展出快速正確檢測大面積樣品之膜厚均勻性，並同時兼顧小區域膜厚監控之量測方法，將是產業界所急需的品管技術。

    我們在量測中心建立一創新的多通道顯微膜厚量測裝置。該裝置利用高密度通道光譜影像裝置的多通道、高光譜解析的特性，結合顯微物鏡，以一次擷取空間軸及光譜軸之多通道形式，可同時量測樣品多處位置及pixel size範圍內的膜厚值，具有高速量測、高精準量測的優點。

    論文全文請詳附加檔案連結說明。
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