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知識分享

應用二維傅立葉之對稱性與直交性特性於TFT-LCD 面板與彩色濾光片之表面瑕疵檢測

建立日期：2018/02/09
  • 作者： 曾紀綱
  • 出處： 工研院量測中心曾紀綱
  • 內容： 由於TFT-LCD 與Color Filter 製造技術不斷精練，使得其檢測精度也不斷精細，因此造成其檢測機台定位精度上更需精準，此種情況將使得檢測機台製造成本更為提高；由此本研究提出一檢測方
    法，期望能在不考慮定位精度層面下，精準地檢測出瑕疵位置及瑕疵形貌；本研究主要是利用二維傅立葉影像轉換，將影像中具有規律性之水平與垂直紋路去除，並保有瑕疵能量在傅立葉頻譜中貢獻最多的區域；在頻譜中去除紋路方法上，本研究主要是利用傅立葉能量頻譜影像中能量較高處，並以最小平方法求出影像中能量較高處之線性方程式，將此方程式利用傅立葉對稱性與直交性之特性，製作出一個去除影像中水平與垂直紋路的濾波器，其主要目的是在抑制影像定位不足，造成影像旋轉，進而影響最後瑕疵偵測不良；接著再搭配Butterworth 低通濾波去除影像中的雜訊與細微規律性紋路，使用此濾波的主要目是使傅立葉反轉後的瑕疵區塊，能較不受水波紋影響(Ringing Effect)其實際瑕疵形貌；最後再經統計管制界限法明確突顯瑕疵，以達到阻抗影像旋轉之定位不足的瑕疵偵測目的；實驗結果顯示本研究方法對TFT-LCD 與Color Filter 之瑕疵偵測有良好的瑕疵偵測效果；本研究針對256
    ×256 8 bit 灰階影像進行檢測，其檢測時間約為1 秒。

    【論文全文請詳附加檔案說明】
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