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白光干涉系統光源輸出強度搭配不同物鏡與有效波長關係之研究
建立日期:2018/02/12
作者:
王裕方等
出處:
致茂電子股份有限公司 王裕方、陳鵬帆
內容:
本論文為探討在白光干涉系統中,光源輸出強度改變時,在搭配不同倍率物鏡的情況下對其平均波長產生的影響,以及不同光源強度下對量測結果的影響。知道光源強度與波長的關係及趨勢後,在量測前配合其光源強度設定適合波長將助於白光干涉系統提昇量測精準度。
【論文全文請詳附加檔案說明】
檔案下載:
白光干涉系統光源輸出強度搭配不同物鏡與有效波長關係之研究
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