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知識分享

白光干涉系統之樣品自動平準化

建立日期：2018/02/12
  • 作者： 廖界程等
  • 出處： 致茂電子 廖界程、林耀明、張維哲、張宏彰
  • 內容： 使用白光干涉系統進行量測時，樣品表面法線方向若是與系統光軸存在一傾角，則垂直掃描範圍與掃描時間將相對增加，另外波包範圍外的雜訊將使量測誤差隨之增加，為解決此一問題，本論文提出名為SOF©(Stepwise Optical Flow)的樣品自動平準化技術，以干涉條紋的方向與疏密等觀念，決定樣品相對於光軸的傾角，配合雙軸傾斜調整平台，調整該傾角使樣品與光軸垂直，如此一來，因樣品的傾角被消除，量測上有正確性較佳與量測速度提升的優點，大幅增加白光干涉系統在工業上應用的可行性，目前該技術已應用於致茂電子公司所發展的Chroma7502 次奈米三維光學輪廓儀，並且申請專利中。

    【論文全文請詳附加檔案說明】
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