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知識分享

Goniometer Stage 旋轉中心調校之研究

建立日期：2018/02/12
  • 作者： 莊達峰等
  • 出處： 致茂電子 莊達峰、張維哲、林耀明
  • 內容： 本論文提出Goniometer Stage 之旋轉中心調校技術，以調整移動平台之移動與旋轉，配合干涉條紋之移動方向與疏密變化的觀念，找出Goniometer Stage 之旋轉中心，此方法可應用於白光干涉系統之樣品調平機制，以便於調平過程中可以將干涉條紋作為調整依據。

    【論文全文請詳附加檔案說明】
  • 檔案下載：Goniometer Stage 旋轉中心調校之研究
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