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知識分享

以條紋反射術結合快速傅立葉轉換法量測晶圓表面形貌及彎曲度

建立日期：2018/08/02
  • 作者： 逢甲大學電機工程學系/許育瑛、田春林、林泓逸 、黃丞毅
  • 出處： 2017 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本研究是以條紋反射術結合快速傅立葉轉換法(FFT)量測藍寶石晶圓的表面輪廓及彎曲度，由於藍寶石晶圓的表面具有鏡面特性，因此將晶圓表面的光柵條紋反射呈現在屏幕上，再以CCD相機擷取晶圓表面反射之條紋影像，並以快速傅立葉轉換法和自行開發的MATLAB分析程式還原表面輪廓及彎曲度。
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