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知識分享

應用於高階模造元件之多維度量測平台

建立日期：2018/02/12
  • 作者： 陳俊賢
  • 出處： 工研院量測中心 陳俊賢
  • 內容： 光干涉技術因為具有快速、精細度高、以及非破壞性檢測等優點，而普遍地被應用於平面的測量；但是對於非球面傾斜度過高的表面形貌，則會因為收光角度的限制而無法量測。因此必須搭配一個以非球面球心為旋轉中心偏擺的量測平台，如此便可以克服收光角度限制的問題；由於會取不同角度之影像，也必需提供影像疊合參考點的定位機制。如此整合上述提及偏擺機構與定位機制的功能，便成為於高階模造元件之多維度量測平台。

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